| 化学抛光对硅基异质结太阳电池性能的影响 |
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| 引用本文： | 姜元建,张晓丹,赵颖.化学抛光对硅基异质结太阳电池性能的影响[J].激光与光电子学进展,2019,56(6):191-198. |
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| 作者姓名： | 姜元建 张晓丹 赵颖 |
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| 作者单位： | 菏泽学院物理与电子工程学院,山东菏泽,274015;南开大学光电子薄膜器件与技术研究所光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室,天津,300071 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金;国家自然科学基金;高等学校学科创新引智计划计划);山东省自然科学基金;菏泽学院科研项目 |
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| 摘 要： | 针对非晶硅薄膜沉积时金字塔沟壑处容易出现外延生长的问题,采用化学抛光液CP133对硅片表面进行了抛光处理。研究结果表明,抛光使得金字塔底部区域形貌由"V"型变成了"U"型,明显改善了非晶硅/晶体硅界面的钝化效果。抛光溶液温度低于30℃时难以发挥腐蚀作用,但当溶液的起始温度升高至35℃时,获得了较好的抛光效果。采用质量分数为1%的NaOH溶液制绒且抛光时间为30s时,太阳电池性能较佳。
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| 关 键 词： | 表面光学 界面处理 化学抛光 硅基异质结太阳电池 钝化 金字塔形貌:制绒 |
Influence of Chemical Polishing on Performances of Silicon Heterojunction Solar Cells |
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| Jiang Yuanjian,Zhang Xiaodan,Zhao Ying.Influence of Chemical Polishing on Performances of Silicon Heterojunction Solar Cells[J].Laser & Optoelectronics Progress,2019,56(6):191-198. |
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| Authors: | Jiang Yuanjian Zhang Xiaodan Zhao Ying |
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| Affiliation: | (College of Physics and Electronic Engineering,Heze University,Heze,Shatidong 274015,China;Key Laboratory of Optoelectronic Thin Film Devices and Technology of Tianjin City,Institute of Photo-Electronic Thin Film Devices and Technology,Nankai University,Tianjin 300071,China) |
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| Abstract: | Jiang Yuanjian;Zhang Xiaodan;Zhao Ying(College of Physics and Electronic Engineering,Heze University,Heze,Shatidong 274015,China;Key Laboratory of Optoelectronic Thin Film Devices and Technology of Tianjin City,Institute of Photo-Electronic Thin Film Devices and Technology,Nankai University,Tianjin 300071,China) |
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| Keywords: | surface optics in terface treatment chemical polishing silicon heterojunction solar cell passivation pyramid morphology texturing |
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