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基于压电陶瓷促动器的连续镜面变形镜研制进展
引用本文:林旭东,刘欣悦,王建立,王亮,卫沛锋.基于压电陶瓷促动器的连续镜面变形镜研制进展[J].激光与光电子学进展,2014,51(9):90003.
作者姓名:林旭东  刘欣悦  王建立  王亮  卫沛锋
作者单位:林旭东:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 吉林 长春 130033
刘欣悦:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 吉林 长春 130033
王建立:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 吉林 长春 130033
王亮:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 吉林 长春 130033
卫沛锋:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 吉林 长春 130033
基金项目:国家863 计划(2011AAXXX1003)、中国科学院三期创新基金
摘    要:为了开展自适应光学技术研究,研制了一系列的基于压电陶瓷促动器的连续镜面变形镜,促动器控制单元数分别为21、97、137和961。利用变形镜作为自适应光学波前校正器,进行了多个室内、室外的自适应光学校正实验,取得了很好的实验效果,其中137单元变形镜在1.23 m望远镜上面的自适应光学系统中取得了对0.2″双星的校正效果,在700~900 nm波段接近望远镜的衍射极限。介绍了变形镜的基本结构,各变形镜的主要参数测试及关键性能指标,列举了各变形镜在自适应光学系统中的应用情况。最后对变形镜的研制进展及应用进行了展望。

关 键 词:自适应光学  学光学设计  变形镜  压电陶瓷促动器  连续镜面  波前校正器
收稿时间:2014/3/26

Progress of the Continuous Surface Deformable Mirror Based on Piezo-Ceramic Actuator
Abstract:
Keywords:adaptive optics  optical design  deformable mirror  piezo-ceramic actuator  continuous surface  wavefront corrector
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