| 高真空环境下晶圆对准视觉成像及数据传输技术 |
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| 引用本文： | 武春晖,暴翔,王涛,张彦鹏,徐特,王成君.高真空环境下晶圆对准视觉成像及数据传输技术[J].电子工艺技术,2022,43(3):149-152. |
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| 作者姓名： | 武春晖 暴翔 王涛 张彦鹏 徐特 王成君 |
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| 作者单位： | 中国电子科技集团公司第二研究所,山西 太原 030024,江苏维普光电科技有限公司,江苏 常州 213022 |
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| 摘 要： |
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| 关 键 词： | 高真空视觉对准 数据传输 晶圆对准 晶圆键合 |
Wafer Alignment Visual Imaging and Data Transmission Technology in High Vacuum Environment |
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| WU Chunhui,BAO Xiang,WANG Tao,ZHANG Yanpeng,XU Te,WANG Chengjun.Wafer Alignment Visual Imaging and Data Transmission Technology in High Vacuum Environment[J].Electronics Process Technology,2022,43(3):149-152. |
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| Authors: | WU Chunhui BAO Xiang WANG Tao ZHANG Yanpeng XU Te WANG Chengjun |
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