| 机载雷达罩曲面FSS阵图形制作研究 |
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| 引用本文： | 张晟,轩利新.机载雷达罩曲面FSS阵图形制作研究[J].电子工艺技术,1999,20(6):224-227. |
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| 作者姓名： | 张晟 轩利新 |
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| 作者单位： | [1]信息产业部第二十研究所 [2]航空总公司六三七研究所 |
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| 摘 要： | 采用电镀铜箔蚀永不地和图形电镀反贴法，研究了雷达工面ＦＳＳ阵图形制作工艺，解决了液态光抗蚀油墨的立体涂布、底片分割贴装、旋转狭缝曝光及蚀刻问题；另外还解决了图形电镀、压模反贴问题。图形精度分别达到±０．０８ｍｍ和±０．０６ｍｍ，满足≤±０．１０ｍｍ的图形公差要求。
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| 关 键 词： | FSS雷达罩 图形蚀刻 图形电镀反贴 |
The Technology Research on FSS Array Camber Figure in Airplane-Load Radar Shade |
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| ZHANG Sheng ,LIU Xiao-li ,YANG Qing ,XUAN Li-xin ,LIU Dong-lin.The Technology Research on FSS Array Camber Figure in Airplane-Load Radar Shade[J].Electronics Process Technology,1999,20(6):224-227. |
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| Authors: | ZHANG Sheng LIU Xiao-li YANG Qing XUAN Li-xin LIU Dong-lin |
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| Affiliation: | ZHANG Sheng 1,LIU Xiao-li 1,YANG Qing 1,XUAN Li-xin 2,LIU Dong-lin 2 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | FSS array radar shade Etching Figure electroplating-opposite mounting |
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