| 全球溅射靶材市场及发展趋势 |
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| 引用本文： | 杨邦朝,胡永达,蒋明. 全球溅射靶材市场及发展趋势[J]. 电子元件与材料, 2002, 21(6): 29-31 |
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| 作者姓名： | 杨邦朝 胡永达 蒋明 |
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| 作者单位： | 电子科技大学微电子与固体电子学院,四川,成都,610054 |
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| 摘 要： | 介绍了全球靶材市场的概况和靶材的发展趋势。亚洲的一些国家和地区将成为靶材需求的新增长点,是未来靶材市场的重心。硅圆晶片、平面显示器和存储技术是靶材应用的主要领域,随着下游产品向细线条、大面积方向发展,对靶材品质提出了更高纯度和更大面积的要求。
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| 关 键 词： | 靶材 市场 产品 |
| 文章编号： | 1001-2028(2002)06-0029-03 |
The World Market of Sputtering Target Material and Its Developing Trend |
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| YANG Bang-chao,HU Yong-da,JIANG Ming. The World Market of Sputtering Target Material and Its Developing Trend[J]. Electronic Components & Materials, 2002, 21(6): 29-31 |
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| Authors: | YANG Bang-chao HU Yong-da JIANG Ming |
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| Abstract: | The paper is a survey on the world market of sputtering target material. The demand for target market is growing in the countries and districts in Asia. The main fields where targets are applied are silicon chip, FPD and memory technology. The target material of high purity and larger area is required to satisfy the requirement of finer line and larger area on the substrate. |
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| Keywords: | targets markets products |
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