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透明导电氧化物薄膜研究现状与产业化进展
引用本文:赵谢群. 透明导电氧化物薄膜研究现状与产业化进展[J]. 电子元件与材料, 2000, 19(1): 40-41
作者姓名:赵谢群
作者单位:北京有色金属研究总院,北京,100088
摘    要:综述了 TCO(透明导电氧化物 )薄膜研究开发的历史与现状 ,展望了产业化前景。传统的 ITO薄膜性能优异 ,是重要的平面显示器件用材料。新型 Zn O薄膜成本低廉 ,极具发展潜力 ,有望在太阳能电池领域取代 ITO(掺锡氧化铟 )。多元复合氧化物薄膜是 TCO的发展方向之一 ;柔性衬底的应用扩大了 TCO薄膜的用途 ;溶胶 -凝胶制备工艺的开发促进了大面积 TCO薄膜的实用化

关 键 词:TCO  ITO  AZO  光电性质  制备工艺  应用现状  产业化前景
文章编号:1001-2028(2000)01-0040-02▲

Development and Applications of Transparent Conducting Oxide Film
ZHAO Xie-qun. Development and Applications of Transparent Conducting Oxide Film[J]. Electronic Components & Materials, 2000, 19(1): 40-41
Authors:ZHAO Xie-qun
Abstract:
Keywords:
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