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| 双极晶体管hFE和BV_(ceo)工艺可控性的研究 | |
| 引用本文： | 何维华.双极晶体管hFE和BV_(ceo)工艺可控性的研究[J].电子学报,1987(6). |
| 作者姓名： | 何维华 |
| 作者单位： | 北京市半导体器件研究所 |
| 摘 要： | 本文对双极晶体管制作中如何有效地控制好h_(FE)和BV_(c60) 的条件作了较详细的工艺实验,并导出其必要条件为Δσ_i°≥Δσ_i,然后通过扩散规律及器件结构功能的分析,探讨提高h_(FE)和BV_(c60)工艺可控性的工艺方法与控制途径。 |
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