P~+-Ge_xSi_(1-x)/p-Si异质结内光发射长波红外探测器量子效率模型 |
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引用本文: | 王瑞忠,陈培毅,钱佩信,罗广礼,周均铭.P~+-Ge_xSi_(1-x)/p-Si异质结内光发射长波红外探测器量子效率模型[J].电子学报,1997(8). |
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作者姓名: | 王瑞忠 陈培毅 钱佩信 罗广礼 周均铭 |
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作者单位: | 清华大学微电子学研究所,中国科学院物理研究所 |
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摘 要: | 本文在对原有模型改进的基础上建立了一个P+-GexSi1-x/p-Si异质结内光发射(HIP)长波红外探测器量子效率的解析模型.与原有模型相比,其特点是考虑了载流子输运作用对量子效率的影响.理论计算与实际结果比较表明,该模型与现有模型相比能更好地与实际相符合.利用该模型可对GexSi1-x层的最佳厚度进行估计,其结果与实验结果也是一致的.
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关 键 词: | 长波红外探测器,锗硅合金,量子效率 |
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