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美科学家推出软干涉光刻技术
摘 要:
美国科学家在纳米制作技术领域获得重大进展,通过将干涉光刻和软光刻技术结合在一起,推出称为软干涉光刻技术(SIL)的新型制造技术,可以用来扩展纳米生产工艺以大批量制造等离子体超材料和器件。与现有的技术相比,软干涉光刻技术具有许多明显的优势。作为一种大规模制作纳米材料的创新和廉价方法,利用它制成的新颖的先进材料,为开发和应用特殊与突发光学特性铺平了道路。
关 键 词:
光刻技术
美国科学家
干涉光刻
纳米材料
制作技术
制造技术
等离子体
批量制造
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