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相平衡形成母液法生长碲镉汞液相外延膜
引用本文:
王金义,常米,陈万熙,周立庆,朱建慧,吴人齐.相平衡形成母液法生长碲镉汞液相外延膜[J].半导体杂志,1999(4).
作者姓名:
王金义
常米
陈万熙
周立庆
朱建慧
吴人齐
作者单位:
华北光电技术研究所!北京100015
摘 要:
根据相律探索出相平衡形成母液法生长碲镉汞液相外延膜新的工艺方法。该方法工艺简单,外延膜组份易于调整和控制。利用此种方法,成功地生长出x = 0-21 ~0-23,表面光亮,结构完整的碲镉汞液相外延膜。
关 键 词:
碲镉汞
液相外延
相平衡
LPE of Mercury Cadmium Telluride by Equilibrium Formation of Solution
Authors:
WANG Jin yi
CHANG Mi
CHEN Wan xi
ZHOU Li qing
ZHU Jian hui
WU Ren qi
Abstract:
Keywords:
mercury cadmium telluride
LPE
equilibrium
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