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半导体材料与器件九十年代最新进展
引用本文:孙以材.半导体材料与器件九十年代最新进展[J].半导体杂志,1996,21(2):19-26.
作者姓名:孙以材
作者单位:河北工业大学 300130
摘    要:本文分别从单晶的尺寸、质量、新型器件、微加工及其集成度和性能几方面报导半导体材料与器件九十年代的世界水平。

关 键 词:最新进展  半导体材料  半导体器件
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