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| 气体传感器阵列中微加热器的发展现状 | |
| 引用本文： | 何秀丽,南金.气体传感器阵列中微加热器的发展现状[J].半导体杂志,1998,23(4):34-39. |
| 作者姓名： | 何秀丽 南金 |
| 作者单位： | 吉林大学电子工程系 |
| 摘 要： | 本文总结了气体传感器中微加热器的材料、结构及热特性，列举了常见的几种微加热器，对Ｐｔ加热器和多晶Ｓｉ加热器进行比较，并在此基础上简要介绍了传感器阵列中微加热器的制作及器阵列的气敏特性。 |
| 关 键 词： | 微加热器 传感器阵列 神经网络 气体传感器 |
development of the microheater in gas sensor arrays |
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| Authors: | He Xiouli Nan Jin Dai Guorui |
| Abstract: | |
| Keywords: | microheater micro hotplate sensor array neural-network |
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