| 铁电（Ba,Sr）TiO3及介电Bi2O3-ZnO-Nb2O5薄膜材料应用于电调谐微波器件研究进展 |
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| 引用本文： | 徐云辉,朱小红,李娜,王旭,何豫生.铁电（Ba,Sr）TiO3及介电Bi2O3-ZnO-Nb2O5薄膜材料应用于电调谐微波器件研究进展[J].真空电子技术,2012(3):27-32,38. |
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| 作者姓名： | 徐云辉 朱小红 李娜 王旭 何豫生 |
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| 作者单位： | 1. 四川大学材料科学与工程学院,四川成都,610064
2. 中国科学院物理研究所超导国家重点实验室,北京,100190 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金项目（61071017）; 四川大学优秀青年学者基金项目（2011SCU04A05） |
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| 摘 要： | 铁电钛酸锶钡BaxSr1-xTiO3(BST)是一种拥有十分优越铁电/介电性能的材料,在可调谐微波器件方面具有很好的应用前景。本文概括介绍了BST薄膜的研究意义、基本结构、薄膜的制备方法,并针对可调谐微波器件应用需求,详细探讨了通过掺杂、组分梯度变化、纳米铁电多层薄膜以及将铁电BST与新型介电Bi2O3-ZnO-Nb2O5(BZN)薄膜相结合等对铁电薄膜性能进行优化的手段,最后对该领域的前沿问题从材料研究层面作了小结与展望。
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| 关 键 词： | 铁电/介电薄膜 钛酸锶钡 铌酸锌铋 可调谐微波器件 |
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