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| 薄膜制备新技术及其应用研究 | |
| 引用本文： | 王学华,薛亦渝.薄膜制备新技术及其应用研究[J].真空电子技术,2003(5):65-70. |
| 作者姓名： | 王学华 薛亦渝 |
| 作者单位： | 1. 武汉化工学院,材料科学与工程学院,湖北,武汉,430073 2. 武汉理工大学,材料科学与工程学院,湖北,武汉,430070 |
| 摘 要： | 综述了近几年国内外在薄膜制备技术方面的研究进展，着重比较了蒸发沉积、溅射沉积、激光沉积、CVD、MBE和Sol-Gel等技术的优缺点，分析了这些技术在薄膜制备中应用前景。 |
| 关 键 词： | 薄膜 制备技术 研究进展 |
| 文章编号： | 1002-8935(2003)05-0065-06 |
| 修稿时间： | 2002年11月11 |
Novel Thin Films Preparation Technology and Its Application |
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| Abstract: | |
| Keywords: | Thin films Preparation technology Research progress |
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