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| 镀Ti/Ni膜蓝宝石与无氧铜钎焊的研究 | |
| 引用本文： | 高殷,张永清,王艳,黄寅,金鹤.镀Ti/Ni膜蓝宝石与无氧铜钎焊的研究[J].真空电子技术,2014(4):1-4. |
| 作者姓名： | 高殷 张永清 王艳 黄寅 金鹤 |
| 作者单位： | 中国科学院电子学研究所高功率微波源与技术重点实验室; |
| 基金项目： | 国家自然科学基金项目(51072197) |
| 摘 要： | 为了可以采用常规的BAg72Cu-V钎料完成蓝宝石与无氧铜的连接,本研究中先将蓝宝石表面镀Ti/Ni复合膜,然后进行高温预扩散处理,最后将镀Ti/Ni膜蓝宝石与无氧铜在真空炉中进行钎焊。本文介绍了蓝宝石镀膜、扩散及焊接工艺,对镀Ti膜蓝宝石及镀Ti/Ni复合膜蓝宝石在高温预扩散前后分别进行了扫描电镜分析和X射线衍射分析,说明蓝宝石镀Ti/Ni膜扩散后的性能优于仅镀Ti膜,并通过对焊接接头的微观分析发现高温预扩散的优势。 |
| 关 键 词： | 蓝宝石 镀Ti/Ni复合膜 高温预扩散 钎焊 |
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