| 溶胶-凝胶方法制备AZO薄膜及其光电性能研究 |
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| 引用本文： | 葛春桥,薛亦渝,胡小锋,郭爱云.溶胶-凝胶方法制备AZO薄膜及其光电性能研究[J].真空电子技术,2005(1):20-21,27. |
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| 作者姓名： | 葛春桥 薛亦渝 胡小锋 郭爱云 |
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| 作者单位： | 武汉理工大学,材料科学与工程学院,湖北,武汉,430070 |
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| 摘 要： | 采用溶胶-凝胶方法制备了AZO半导体透明导电薄膜,并研究了退火温度对其结构和性能的影响.结果表明:AZO薄膜的晶粒成等轴状,薄膜的电阻率在(2～8)×10-3 Ω·cm之间,平均透射率在80%以上.
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| 关 键 词： | AZO薄膜 溶胶凝胶 光电性能 |
| 文章编号： | 1002-8935(2005)01-0020-02 |
Preparation of the AZO Thin Films by Sol-Gel and Study on Their Optic and Electronic Properties |
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| GE Chun-qiao,XUE Yi-yu,HU Xiao-feng,GUO Ai-yun.Preparation of the AZO Thin Films by Sol-Gel and Study on Their Optic and Electronic Properties[J].Vacuum Electronics,2005(1):20-21,27. |
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| Authors: | GE Chun-qiao XUE Yi-yu HU Xiao-feng GUO Ai-yun |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | AZO thin film Sol-gel Optical and electrical properties |
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