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| VLSI中互连失效及其微测试结构 | |
| 引用本文： | 张安康.VLSI中互连失效及其微测试结构[J].电子产品可靠性与环境试验,1996(1):15-22. |
| 作者姓名： | 张安康 |
| 作者单位： | 东南大学 南京210018 |
| 摘 要： | 本文叙述了ＶＬＳＩ中众多互连失效，分析了失效原因及其对器件性能的影响，介绍了检测接触电阻、互连中电迁移的测试结构，讨论了微测试技术的测试结果。 |
| 关 键 词： | 互连失效 测试结构 可靠性 VLSI |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
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