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| 兼具VOA功能的1×2 MEMS光开关 | |
| 引用本文： | 郑洁,周日凯,马洪勇,胡强高,江山.兼具VOA功能的1×2 MEMS光开关[J].光通信研究,2009(2). |
| 作者姓名： | 郑洁 周日凯 马洪勇 胡强高 江山 |
| 作者单位： | 光纤通信技术和网络国家重点实验室武汉光迅科技股份有限公司,湖北武汉430074 |
| 摘 要： | 光开关和可变光衰减器（VOA）是光通信系统中的关键器件，而微电子机械系统（MEMS）技术是一种具有发展前景的光开关技术。文章提出一种兼具VOA功能的1×2 MEMS光开关，详细介绍了其原理，并且利用矩阵光学推导了插入损耗的计算公式。在设计了透镜的各项参数的基础上制作出了光开关样品，并且将样品的测试结果与计算的结果进行对比分析，指出这种光开关是具有实用价值的。 |
| 关 键 词： | 微电子机械系统 光开关 可变光衰减器 |
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