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| 基于系统建模的四像限光电探测器对准与微位移测量系统 | |
| 引用本文： | 汤晓君,李玉军,刘君华,梁琨.基于系统建模的四像限光电探测器对准与微位移测量系统[J].中国激光,2009,36(3). |
| 作者姓名： | 汤晓君 李玉军 刘君华 梁琨 |
| 作者单位： | 1. 西安交通大学电气工程学院,陕西,西安,710049 2. 西安交通大学电气工程学院,陕西,西安,710049;西安理工大学自动化与信息工程学院,陕西,西安,710048 3. 西安理工大学计算机科学与工程学院,陕西,西安,710048 |
| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划)重大项目 |
| 摘 要： | 通过对基于四像限光电探测器的对准系统的光路分析,将系统的输入输出关系的确定转化为平面光照面积的计算,并给出了探测器各像限光照面积的求取方法,从而构建了该系统的数学模型.对该系统进行了仿真,并给出了系统的实测结果.仿真结果表明,通过设置不同的米字型标记参数,系统的输入输出关系具有不同的线性度.证明的确存在一个最佳结构参数组合,存在优化的可能.实测结果表明,该系统的最大对准偏差小于2 ,实测偏差小于2.佐证了模型的正确性,表明四像限光电探测器的对准应用可扩展到微量位移的测量.模型省去了繁杂的标定工作,消除了标定引入的非线性误差,提高了探测器的应用效率和准确度,因此具有较高的实际意义. |
| 关 键 词： | 光学器件 四像限光电探测器 对准 微位移测量 系统建模 |
Alignment and Micro-Displace Measurement with Four-Quadrant Photo-Detector by System Modeling |
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| Tang Xiaojun,Li Yujun,Liu Junhua,Liang Kun.Alignment and Micro-Displace Measurement with Four-Quadrant Photo-Detector by System Modeling[J].Chinese Journal of Lasers,2009,36(3). | |
| Authors: | Tang Xiaojun Li Yujun Liu Junhua Liang Kun |
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| Keywords: | |
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