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| 10.6μm激光对钛、锆光学薄膜的损伤 | |
| 引用本文： | 李仲伢,邓和,范正修.10.6μm激光对钛、锆光学薄膜的损伤[J].中国激光,1989,16(7):413-416. |
| 作者姓名： | 李仲伢 邓和 范正修 |
| 作者单位： | 中国科学院上海光机所 (李仲伢，邓和)，中国科学院上海光机所(范正修) |
| 摘 要： | 本文报道了1.06μm 激光对TiO_2、ZrO_2和Ti_3O_5的单层膜和多层膜的损伤阈值和损伤形貌.研究了损伤阈值与膜厚、缺陷和保护膜之间的关系. |
| 关 键 词： | 损伤 光学薄膜 缺陷 |
| 收稿时间： | 1988/4/19 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |