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| 大功率射频板条CO_2激光器电极波导介质膜研究 | |
| 引用本文： | 杨卫红,袁金坤,王度,陈一峰,唐霞辉.大功率射频板条CO_2激光器电极波导介质膜研究[J].中国激光,2015,42(1):107001. |
| 作者姓名： | 杨卫红 袁金坤 王度 陈一峰 唐霞辉 |
| 作者单位： | 杨卫红:华中科技大学光学与电子信息学院, 湖北 武汉 430074 袁金坤:华中科技大学光学与电子信息学院, 湖北 武汉 430074 王度:华中科技大学光学与电子信息学院, 湖北 武汉 430074 陈一峰:华中科技大学光学与电子信息学院, 湖北 武汉 430074 唐霞辉:华中科技大学光学与电子信息学院, 湖北 武汉 430074 |
| 基金项目： | 湖北省2014 年支撑计划项目(2014AAA02) |
| 摘 要： | 针对高功率射频板条CO2激光器铜电极表面放电氧化、受射频放电的电子溅射,致使电极表面不光滑,辉光放电不均匀,光波导损耗严重等问题。利用Al2O3波导介质膜具有的反常色散效应、耐高温能力强的特点,采用磁控溅射镀膜技术对激光器电极表面先镀Al,而后阳极氧化获得Al2O3波导介质膜。分析了磁控溅射工艺对膜层结构的影响,测量了镀膜电极对CO2激光的反射率,并进行了放电实验检测。结果表明,溅射功率为250 W时可得到致密的镀膜层结构;厚度6μm的Al2O3薄膜,对波长10.6μm的CO2激光波导反射率最高达75%;电极镀膜后激光器输出功率在占空比为30%时为700 W,占空比为60%时达到了1300 W。 |
| 关 键 词： | 薄膜 射频板条CO2激光器 镀膜技术 磁控溅射 光波导 反常色散 |
| 收稿时间： | 2014/5/20 |
Study on Electrode Waveguide Dielectric Film for High Power Radio Frequency Slab CO2 Laser |
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| Abstract: | |
| Keywords: | thin films radio frequency- excited CO2 laser coating technology magnetron sputtering planar waveguide anomalous dispersion |
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