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| 均匀辐照365nm LED光源设计及其在光刻中的应用 | |
| 引用本文： | 王向贤,汪波,傅强,陈漪恺,胡继刚,张斗国,明海.均匀辐照365nm LED光源设计及其在光刻中的应用[J].中国激光,2012,39(4):416001-223. |
| 作者姓名： | 王向贤 汪波 傅强 陈漪恺 胡继刚 张斗国 明海 |
| 作者单位： | 王向贤:中国科学技术大学光学与光学工程系， 安徽 合肥 230026巢湖学院物理与电子科学系， 安徽 巢湖 238000 汪波:中国科学技术大学光学与光学工程系， 安徽 合肥 230026 傅强:中国科学技术大学光学与光学工程系， 安徽 合肥 230026 陈漪恺:中国科学技术大学光学与光学工程系， 安徽 合肥 230026 胡继刚:中国科学技术大学光学与光学工程系， 安徽 合肥 230026 张斗国:中国科学技术大学光学与光学工程系， 安徽 合肥 230026 明海:中国科学技术大学光学与光学工程系， 安徽 合肥 230026 |
| 基金项目： | 国家973计划(2011CB301802)、国家自然科学基金(61177053，11004182)、安徽省自然科学基金(11040606Q26)、安徽省高等学校省级自然科学研究项目(KJ2012Z272)和中国科学技术大学青年创新基金资助课题。 |
| 摘 要： | 优化设计了365nm紫外LED点光源阵列、聚焦透镜组的排布,实现了高强度均匀辐照的LED面光源。利用优化后的365nm LED面光源进行了接触式曝光光刻实验,所得刻写图形与掩模板图形一致。提出的基于365nm紫外LED阵列均匀辐照面光源的光刻方法具有结构简单、节能、环保等优势。 |
| 关 键 词： | 光学制造 紫外发光二极管 阵列 光刻 |
| 收稿时间： | 2011/10/12 |
Design of Uniform Illumination Optical Source with 365 nm LED and Application in Lithography |
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| Wang Xiangxian,Wang Bo Fu Qiang,Chen Yikai,Hu Jigang,Zhang Douguo,Ming Hai.Design of Uniform Illumination Optical Source with 365 nm LED and Application in Lithography[J].Chinese Journal of Lasers,2012,39(4):416001-223. | |
| Authors: | Wang Xiangxian Wang Bo Fu Qiang Chen Yikai Hu Jigang Zhang Douguo Ming Hai |
| Affiliation: | 1 (1Department of Optics and Optical Engineering,University of Science and Technology of China,Hefei,Anhui 230026,China 2Department of Physics and Electronic Science,Chaohu College,Chaohu,Anhui 238000,China) |
| Abstract: | Arrangements of point light sources array with 365 nm ultraviolet LED and focusing lens are designed and optimized. Area light source with uniform illumination and high intensity is achieved based on arrangements system. Lithography experiment with contact exposure method is realized with the optimized area optical source. Lithographic patterns are consistent with mask. The lithography method based on uniform area optical source from 365 nm LED arrays has advantages of simple structure, energy conservation and environmental protection. |
| Keywords: | optical fabrication ultraviolet LED arrays lithography |
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