| 结构紧凑的高均匀性硅波导阵列波导光栅 |
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| 引用本文： | 封治华,袁硕,陈益姝,刘海鹏,毕群玉,张福领,冯吉军.结构紧凑的高均匀性硅波导阵列波导光栅[J].中国激光,2023(22):217-222. |
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| 作者姓名： | 封治华 袁硕 陈益姝 刘海鹏 毕群玉 张福领 冯吉军 |
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| 作者单位： | 1. 西安电子科技大学物理学院;2. 中国电子科技集团公司第二十七研究所;3. 上海理工大学上海市现代光学系统重点实验室;4. 苏州大学江苏省先进光学制造技术重点实验室 |
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| 基金项目： | 国家重点研发计划(2022YFE0107400)；;国家自然科学基金(11774235,61705130,11933005)； |
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| 摘 要： | 基于绝缘体上硅材料平台，设计并制作了一种结构紧凑的高均匀性硅波导阵列波导光栅，其拥有8个输出通道并且通道间隔为200 GHz。分析了绝缘体上硅材料平台中硅波导的弯曲半径对弯曲损耗和有效折射率的影响。测试结果表明，该器件的插入损耗为19.6 dB，串扰为-15 dB，非均匀性为0.87 dB,3 dB带宽为1.06 nm，结构尺寸仅为294μm×190μm。芯片的制作工艺与互补金属氧化物半导体工艺兼容，这使得阵列波导光栅的大批量、低成本生产成为可能，对集成波分复用网络的发展具有重要的意义。
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| 关 键 词： | 集成光学 阵列波导光栅 结构紧凑 硅基波导 波分复用 |
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