| 低功耗热光可调光衰减器的设计与制备 |
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| 引用本文： | 代红庆,安俊明,王玥,王红杰,吴远大,钟飞.低功耗热光可调光衰减器的设计与制备[J].半导体技术,2014,39(8). |
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| 作者姓名： | 代红庆 安俊明 王玥 王红杰 吴远大 钟飞 |
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| 作者单位： | 中国科学院半导体研究所集成光电子国家重点实验室,北京100083;河南仕佳光子科技有限公司,河南鹤壁458030 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2013AA031402,2011AA010303);国家自然科学基金资助项目(61274047,61090390,61275029,61205044,61307034) |
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| 摘 要： | 可调光衰减器(VOA)是波分复用(WDM)系统中最重要的器件之一,它的主要功能是控制和衰减光信号。设计并制备了基于石英衬底的4通道马赫增德尔(Mach-Zehnder)干涉型热光可调光衰减器阵列。首先介绍了热光可调光衰减器的结构和原理,模拟了在有外加偏压时的热场分布,然后介绍了器件的设计及制备工艺过程,并对所制备的器件进行测试。实验结果表明,制备器件的插入损耗小于1.1 dB,动态衰减范围为0~30 dB。在衰减量为30 dB时,外加偏压为12.5 V,功耗仅有120 mW。最后分析了测试结果,并提出了改善器件性能的方法。
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| 关 键 词： | 波分复用(WDM) 马赫增德尔干涉型 可调光衰减器(VOA) 石英衬底 低功耗 |
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