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| DJS-051微处理机控制的自动扩散炉系统 | |
| 作者姓名： | 陈晟武 杨善中 |
| 作者单位： | 上海无线电十七厂(陈晟武)，上海无线电十七厂(杨善中) |
| 摘 要： | 一、概述 扩散工艺是半导体器件生产中的关键工艺之一,它直接影响产品的质量。随着半导体技术和微电子学的迅速发展,器件的集成度、工艺的复杂度、精确度将愈来愈高。而目前国内大多数采用的模拟式常规调节仪表控制的扩散炉系统是无法进一步提高控制质量的。 为了进一步提高产品的合格率,降低成本,更因为近年来硅园片的直径不断增大,扩散炉的自动化就成了一种必然的趋势。为此,我们经过了较长时间的摸索,现已基本上完成DJS-051微处理机控制的自动扩散炉系统。 我们认为微处理机自动扩散炉系统,作为一个实用的生产工具,至少要具备以下几点功能: |
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