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SnO2薄膜的湿敏效应
引用本文:张锦文,武光明,宋世庚,陶明德.SnO2薄膜的湿敏效应[J].半导体技术,1999,24(6):42-44.
作者姓名:张锦文  武光明  宋世庚  陶明德
作者单位:1. 北京大学微电子学研究所,北京,100871
2. 北京石油化工学院基础部,北京,102600
3. 中国科学院新疆物理所,乌鲁木齐,830011
摘    要:报道了用喷雾热分解法在不同温度下制备二氧化锡薄膜,发现其在325℃时已晶化,得到四方相多晶SnO2。这种薄膜具有明显湿敏效应。测量表明,较高湿度区阻值随湿度变化近似线性,从高湿到低湿平均为每上升1%RH,阻值下降8.8π,响应速度小于1分钟,阻值恢复较容易。

关 键 词:SnO2薄膜  湿敏效应  喷雾热分解法
修稿时间:19981230

Study of Humid Sensitivity of SnO2 Film Prepared by Spray Pyrolysis
Zhang Jinwen,Wu Guangming,Song Shigeng,Tao Mingde.Study of Humid Sensitivity of SnO2 Film Prepared by Spray Pyrolysis[J].Semiconductor Technology,1999,24(6):42-44.
Authors:Zhang Jinwen  Wu Guangming  Song Shigeng  Tao Mingde
Affiliation:Zhang Jinwen (Institute of Microelectronics,Beijing University,Beijing 100871) Wu Guangming (Division of Fundamental Courses,Beijing Institute of Petrolic and Chemical Technology,Beijing 102600) Song Shigeng,Tao Mingde (Xinjiang Institute of Physics,Chinese Academy of Science,Wulumuqi 830011)
Abstract:
Keywords:SnO_2 thin film  Humid sensitivity  Spray pyrolysis
本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录!
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