| 基于EIT技术的微区薄层电阻测试系统研究 |
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| 引用本文： | 任献普,刘新福,黄宇辉,柳春茹,赵晓然,赵丽敏.基于EIT技术的微区薄层电阻测试系统研究[J].半导体技术,2009,34(10). |
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| 作者姓名： | 任献普 刘新福 黄宇辉 柳春茹 赵晓然 赵丽敏 |
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| 作者单位： | 河北工业大学信息工程学院,天津,300130;河北工业大学机械工程学院,天津,300130 |
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| 基金项目： | 河北省教育厅科技计划项目，河北省科学技术研究与发展指导性计划项目 |
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| 摘 要： | 分析了各种半导体材料电阻率测量方法的优缺点及适用性,利用电阻抗成像技术(EIT),探究了一种用来检测Si片内微区薄层电阻率均匀性的无接触测试技术.实现这种测试技术的硬件电路系统主要由激励模块恒流源、驱动模块多路模拟开关、信号处理模块前置放大电路、A/D转换器件和DSP(数字信号处理器)芯片、计算机等构成.分别介绍了各模块的构成与功能,并略述了用一种图像重建算法等位线反投影法进行阻抗分布图像的重建.
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| 关 键 词： | 半导体测试 数字信号处理器 电阻抗成像技术 薄层电阻 |
Research on the Micro-Area Sheet Resistance Test System Based on EIT Technology |
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| Ren Xianpu,Liu Xinfu,Huang Yuhui,Liu Chunru,Zhao Xiaoran,Zhao Limin.Research on the Micro-Area Sheet Resistance Test System Based on EIT Technology[J].Semiconductor Technology,2009,34(10). |
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| Authors: | Ren Xianpu Liu Xinfu Huang Yuhui Liu Chunru Zhao Xiaoran Zhao Limin |
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