硅芯片技术发展特点及前景 |
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引用本文: | 李炳宗.硅芯片技术发展特点及前景[J].半导体技术,1996(4):11-19. |
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作者姓名: | 李炳宗 |
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作者单位: | 复旦大学电子工程系 |
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摘 要: | 硅微电子器件是现代信息技术的重要基础,近30年来,硅芯片集成度和性能以指数规律持续发展。单元器件微小型化和不断革新的与完善的微细加工技术是硅芯片迅速进步的主要关键和途径。硅芯片正向千兆元件高集成度和千兆赫高速度发展。在研究,开发,生产和应用密切结合的基础上,硅芯片在2000年前后将继续迅速进步。
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关 键 词: | 硅芯片 集成电路 微小型化 穆尔规则 |
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