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原位法制备通孔AAO模板的原理和工艺
引用本文:秦刚,何凤英,郭光华.原位法制备通孔AAO模板的原理和工艺[J].半导体技术,2010,35(9):889-893.
作者姓名:秦刚  何凤英  郭光华
作者单位:中南大学,物理科学与技术学院,长沙,410083;中南大学,物理科学与技术学院,长沙,410083;中南大学,物理科学与技术学院,长沙,410083
基金项目:国家自然科学基金资助项目,湖南省自然科学基金资助项目 
摘    要:AAO模板是制备纳米材料常用的模板,然而由于阻挡层的存在,制约了其在很多方面的应用.介绍了在不剥离基体的前提下,采用阶梯降压法和反向电压法在原位除去阻挡层,制备通孔的模板.利用场发射扫描电镜对其形貌进行了表征,分析了这两种方法在原位去除阻挡层的原理,讨论了其工艺条件对制备通孔模板的影响,并对其结果进行了比较.结果表明:阶梯降压法能有效减薄阻挡层厚度,通过后续磷酸浸泡能达到在原位除去阻挡层的目的,但是底部孔道出现分叉现象;而反向降压法能在原位有效除去阻挡层,且不破坏模板.

关 键 词:通孔AAO模板  阶梯降压法  反向电压法  原位

Principle and Process of Fabrication for Holing-Through AAO Templates in Situ
Qin Gang,He Fengying,Guo Guanghua.Principle and Process of Fabrication for Holing-Through AAO Templates in Situ[J].Semiconductor Technology,2010,35(9):889-893.
Authors:Qin Gang  He Fengying  Guo Guanghua
Affiliation:Qin Gang,He Fengying,Guo Guanghua(School of Physics Science and Technology,Central South University,Changsha 410083,China)
Abstract:AAO templates are often used in fabrication of nanomaterials,but for the barrier layers,their applications are restricted in many fields.It is investigated that the barrier layers were removed by the step-by-step voltage decrement and the reversed voltage in situ,and the holing-throughed templates were obtained.The morphologies were characterized by field emission scanning electron microscope,the principle of these two methods in removing the barrier layer in situ was analysed.In addition,the influences and...
Keywords:holing-through AAO templates  step-by-step voltage decrement  reversed voltage  in situ  
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