| 宽带FBAR滤波器的研制 |
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| 引用本文： | 王强,李丽,张仕强.宽带FBAR滤波器的研制[J].半导体技术,2021,46(8):630-634. |
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| 作者姓名： | 王强 李丽 张仕强 |
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| 作者单位： | 中国电子科技集团公司第十三研究所,石家庄 050051 |
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| 摘 要： | 采用阶梯型结构的薄膜体声波谐振器(FBAR)滤波器芯片和外匹配电路实现了一种输入输出端口阻抗均为50 Ω的宽带FBAR滤波器.FBAR滤波器芯片采用自主的FBAR滤波器工艺实现,外匹配电路采用0.35 μm GaAs工艺实现,并在该芯片上植球,采用倒装工艺将FBAR滤波器芯片与外匹配电路芯片进行异构集成.然后采用微组装工艺将异构集成芯片装配在标准陶瓷外壳中,外壳通过平行封焊工艺实现气密封装,体积仅为3.8 mm×3.8 mm×1.8 mm.测试结果显示,该滤波器通带频率范围为3 300～3 600 MHz,1 dB带宽约为300 MHz,相对带宽为8.7％,插入损耗为1.41 dB,在3 250 MHz和3 650 MHz处带外抑制分别为16.5 dBc和48.2 dBc.将实测结果与仿真结果进行了对比,两者基本吻合.
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| 关 键 词： | 薄膜体声波谐振器(FBAR)滤波器 阶梯型结构 宽带 异构集成 外匹配电路 |
Development of Broadband FBAR Filter |
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| Wang Qiang,Li Li,Zhang Shiqiang.Development of Broadband FBAR Filter[J].Semiconductor Technology,2021,46(8):630-634. |
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| Authors: | Wang Qiang Li Li Zhang Shiqiang |
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