| S波段网格型FBAR滤波器的研制 |
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| 引用本文： | 李丽,申晓芳,李宏军.S波段网格型FBAR滤波器的研制[J].半导体技术,2015,40(5):369-373. |
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| 作者姓名： | 李丽 申晓芳 李宏军 |
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| 作者单位： | 中国电子科技集团公司第十三研究所,石家庄,050051;中国电子科技集团公司第十三研究所,石家庄,050051;中国电子科技集团公司第十三研究所,石家庄,050051 |
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| 摘 要： | 介绍了一种单端口,端口阻抗为50 Ω的S波段宽带薄膜体声波谐振器(FBAR)滤波器,该滤波器采用网格型结构的FBAR滤波器芯片级联巴伦芯片实现.对宽带FBAR滤波器芯片的设计过程、工艺实现过程进行了说明.采用0.35 μm GaAs工艺实现了3～8 GHz频率范围的巴伦芯片,在FBAR滤波器芯片的中心频率处,幅度不平衡度为0.53 dB,相位不平衡度为0.55°.制备的FBAR滤波器通带频率范围为3 100～3 400 MHz,1 dB带宽约为369 MHz,在2 660 MHz和3 840 MHz处带外抑制分别为45.6 dBc和41.3 dBc,尺寸仅为12 mm×7 mm×2.9 mm.将实测结果与仿真结果进行了对比,两者一致性很好.
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| 关 键 词： | 薄膜体声波谐振器(FBAR)滤波器 芯片 网格型结构 宽带 巴伦 |
Research and Fabrication of the Lattice-Type FBAR Filter for S Band |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | film bulk acoustic resonator (FBAR) filter chip lattice-type structure wideband Balun |
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