| 多孔硅(PS)及其光电器件研究进展 |
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| 引用本文： | 郭宝增.多孔硅(PS)及其光电器件研究进展[J].半导体技术,1999,24(3):8-13. |
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| 作者姓名： | 郭宝增 |
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| 作者单位： | 河北大学电子与信息工程系,保定,071002 |
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| 摘 要： | 综述了近几年来人们对多孔硅材料的研究及其其于硅基光电器件制造方面的进展。 ‘
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| 关 键 词： | 多孔硅 发光二极管 光探测器 硅集成电路 |
Research Development of Porous Silicon Optoelectronic Devices |
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| Guo Baozeng.Research Development of Porous Silicon Optoelectronic Devices[J].Semiconductor Technology,1999,24(3):8-13. |
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| Authors: | Guo Baozeng |
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| Abstract: | This paper attempts to review the development in study on light emission porous silicon and its application in optoelectronic devices. |
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| Keywords: | Porous silicon Light emitting diode Photodetector Silicon intergrated circuit |
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