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高温下塑封器件键合铜线的可靠性
引用本文:高成,张芮,黄姣英.高温下塑封器件键合铜线的可靠性[J].半导体技术,2018,43(2):154-159.
作者姓名:高成  张芮  黄姣英
作者单位:北京航空航天大学可靠性与系统工程学院,北京,100191;北京航空航天大学可靠性与系统工程学院,北京,100191;北京航空航天大学可靠性与系统工程学院,北京,100191
摘    要:

关 键 词:塑封器件  键合铜线  高温贮存(HTS)  键合强度  金属间化合物(IMC)
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