| 应用于微型PCR芯片的微加热器特性研究 |
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| 引用本文： | 王俊强,吴次南,张普,郭藏燃,刘泽文.应用于微型PCR芯片的微加热器特性研究[J].半导体技术,2012,37(6):442-447,455. |
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| 作者姓名： | 王俊强 吴次南 张普 郭藏燃 刘泽文 |
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| 作者单位： | 贵州大学理学院,贵阳,550025;清华大学微电子学研究所,北京,100084 |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划(973计划)资助项目 |
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| 摘 要： | 设计制作了一种应用于微型聚合酶链式反应(PCR)芯片的微加热器。然后按照PCR循环温度的要求,利用该加热器进行了PCR温度实验。微加热器采用与MEMS工艺兼容的溅射方法在Si基上制作,微加热器材料为金属Pt。通过控制施加电压大小及时间,进行了变性温度、退火温度和延伸温度实验。结果表明:在25 V和32 V电压控制下的温升速度分别为0.68℃/s和1.23℃/s。在断电自然冷却下的降温速度均达到1℃/s。在一个PCR循环周期中每个反应仓的平均功耗为50 mW,最大功耗80 mW,整个10 mm×10 mm芯片的最大功耗为0.96 W。完成第一次PCR温度循环需要220 s,之后的每次循环仅需要175 s。
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| 关 键 词： | 微型PCR芯片 微机电系统 微加热器 Pt薄膜 对流 |
Study on Characterization of Micro Heater Used for Micro PCR Chip |
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| Wang Junqiang
,
Wu Cinan
,
Zhang Pu
,
Guo Cangran
,
Liu Zewen.Study on Characterization of Micro Heater Used for Micro PCR Chip[J].Semiconductor Technology,2012,37(6):442-447,455. |
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| Authors: | Wang Junqiang Wu Cinan Zhang Pu Guo Cangran Liu Zewen |
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| Affiliation: | 1.School of Science,Guizhou University,Guiyang 550025,China; 2.Institute of Microelectronic,Tsinghua University,Beijing 100084,China) |
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| Abstract: | |
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