| 溶胶-凝胶法制备AZO薄膜工艺参数的优化 |
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| 引用本文： | 葛春桥,薛亦渝,胡小锋,郭爱云.溶胶-凝胶法制备AZO薄膜工艺参数的优化[J].半导体技术,2005,30(5):22-23,48. |
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| 作者姓名： | 葛春桥 薛亦渝 胡小锋 郭爱云 |
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| 作者单位： | 华中科技大学材料科学与工程学院,武汉,430074;华中科技大学材料科学与工程学院,武汉,430074;华中科技大学材料科学与工程学院,武汉,430074;华中科技大学材料科学与工程学院,武汉,430074 |
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| 摘 要： | 采用正交设计法,对溶胶-凝胶方法制备AZO薄膜的工艺参数进行了优化研究,确定了最佳工艺参数,为制备AZO薄膜的工业化控制提供了一种可行的方法.
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| 关 键 词： | AZO薄膜 溶胶-凝胶 正交设计 |
| 文章编号： | 1003-353X(2005)05-0022-02 |
Optimum Design of the Technological Parameters for the Preparation of AZO Thin Films by Sol-Gel |
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| GE Chun-qiao,XUE Yi-yu,HU Xiao-feng,GUO Ai-yun.Optimum Design of the Technological Parameters for the Preparation of AZO Thin Films by Sol-Gel[J].Semiconductor Technology,2005,30(5):22-23,48. |
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| Authors: | GE Chun-qiao XUE Yi-yu HU Xiao-feng GUO Ai-yun |
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| Abstract: | Optimum study of technological parameters for the preparation of AZO thin films by sol-gel is carried through orthogonal design. Optimum technological parameters are determined, whichprovide practicable approach for industrial control of the preparation of AZO thin films. |
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| Keywords: | AZO thin films sol-gel orthogonal desig |
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