| 微型热致动器研究 |
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| 引用本文： | 杨岳,周兆英,叶雄英.微型热致动器研究[J].半导体技术,2000,25(1):14-18. |
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| 作者姓名： | 杨岳 周兆英 叶雄英 |
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| 作者单位： | 清华大学精密仪器与机械学系,北京,100084 |
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| 摘 要： | 本论文围绕微型热致动器的研制开发，对热致动方式进行较为深入研究，利用硅微细加工工艺制造出多种型热致动器，并进行了理论分析和实验测试。
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| 关 键 词： | 微型机械 微致动器 热致动器 硅微细加工 |
Research on Thermally Actuated Microactuators |
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| Yang Yue,Zhou Zhaoying,Ye Xiongying.Research on Thermally Actuated Microactuators[J].Semiconductor Technology,2000,25(1):14-18. |
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| Authors: | Yang Yue Zhou Zhaoying Ye Xiongying |
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| Abstract: | Microactuation technology is important bases of the design and fabrication for MEMS.In this paper, researches on thermal actuation are described.Some kinds of thermal microactuators are developed by silicon micromanufacturing process.Theoretical analyses for microactuators are proposed and the typical performance of microactuators is tested. |
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| Keywords: | Micromachine Microactuator Thermal actuation Silicon micromanufacturing process |
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