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| 覆盖银纳米线层硅基MEMS过滤芯片 | |
| 引用本文： | 李书明,史文琪,齐萨仁,杨国勇,蔡勇.覆盖银纳米线层硅基MEMS过滤芯片[J].半导体技术,2019,44(12):945-950,966. |
| 作者姓名： | 李书明 史文琪 齐萨仁 杨国勇 蔡勇 |
| 作者单位： | 中国科学技术大学纳米技术与纳米仿生学院,合肥230026;中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所,江苏苏州 215123;中国科学院纳米器件与应用重点实验室,江苏苏州 215123;中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所,江苏苏州 215123;中国科学院纳米器件与应用重点实验室,江苏苏州 215123;苏州苏瑞膜纳米科技有限公司,江苏苏州 215000 |
| 摘 要： | |
| 关 键 词： | 微电子机械系统(MEMS) 二氧化硅 感应耦合等离子体(ICP)刻蚀 颗粒过滤 银纳米线 |
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