| DCPA光刻胶的软X射线感光灵敏度初步测量 |
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| 引用本文： | 郭玉彬.DCPA光刻胶的软X射线感光灵敏度初步测量[J].微细加工技术,1995(4):11-14. |
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| 作者姓名： | 郭玉彬 |
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| 作者单位： | 中国科学院长春光学精密机械研究所 |
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| 摘 要： | 采用安装Ｃ靶的Ｈｅｎｋｅ源进行了ＤＣＰＡ胶的Ｘ光曝光实验，经持续曝光，得到了５０线／ｍｉｎ铜网掩模对应的光刻图形。结合正比计数管的Ｘ光测量，得到ＤＣＰＡ胶对Ｃ靶的曝光灵敏度为－３５ｍＪ／ｃｍ＾２。
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| 关 键 词： | 软X射线 光刻胶 感光灵敏义 曝光 |
PRELIMINARY MEASUREMENT OF SOFT X-KAY SENSITIVITY OF DCPA RESIST |
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| Guo Yubin.PRELIMINARY MEASUREMENT OF SOFT X-KAY SENSITIVITY OF DCPA RESIST[J].Microfabrication Technology,1995(4):11-14. |
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| Authors: | Guo Yubin |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | soft X-ray resist sensitivity |
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