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| 像差畸变及预校正映射 | |
| 引用本文： | 王绍钧.像差畸变及预校正映射[J].微细加工技术,1994(3):1-5. |
| 作者姓名： | 王绍钧 |
| 作者单位： | 山东工业大学自动化工程系 |
| 摘 要： | 本文根据磁偏转场畸变的物理原因，分析构造畸变及校正的映射函授，并给出校正电路的运算公式及公式的精度分析。 |
| 关 键 词： | 电子束曝光，像差畸变，预校正 |
IMAGE DISTORTION AND PRECORRECTION MAPPING |
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| Wang Shaojun.IMAGE DISTORTION AND PRECORRECTION MAPPING[J].Microfabrication Technology,1994(3):1-5. | |
| Authors: | Wang Shaojun |
| Abstract: | |
| Keywords: | electron-beam exposure distortion precorrection |
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