| 有机半导体薄膜层的图形化方法 |
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| 引用本文： | 甄丽娟,刘明,商立伟,涂德钰,刘兴华,刘舸.有机半导体薄膜层的图形化方法[J].微细加工技术,2007(3):34-38. |
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| 作者姓名： | 甄丽娟 刘明 商立伟 涂德钰 刘兴华 刘舸 |
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| 作者单位： | 中国科学院微电子研究所,纳米加工与新器件集成技术实验室,北京,100029 |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划(973计划);国家自然科学基金 |
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| 摘 要： | 对有机半导体层的图形化方法进行了详细介绍.对比分析了非传统有机半导体薄层的图形化方法和与传统光刻技术类似的有机层图形化方法,指出了各种方法的适用范围及其优缺点.
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| 关 键 词： | 图形化 有机半导体 喷墨打印 微接触印刷 |
| 文章编号： | 1003-8213(2007)03-0034-05 |
| 修稿时间： | 2007年1月4日 |
The Methods of Patterning Organic Semiconductor Thin Film |
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| ZHEN Li-juan,LIU Ming,SHANG Li-wei,TU De-yu,LIU Xing-hua,LIU Ge.The Methods of Patterning Organic Semiconductor Thin Film[J].Microfabrication Technology,2007(3):34-38. |
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| Authors: | ZHEN Li-juan LIU Ming SHANG Li-wei TU De-yu LIU Xing-hua LIU Ge |
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