| 液相外延系统中高指标热场的实现 |
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| 引用本文： | 袁章其,罗卫国,蒲勇.液相外延系统中高指标热场的实现[J].微细加工技术,2000(3):70-74. |
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| 作者姓名： | 袁章其 罗卫国 蒲勇 |
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| 作者单位： | 信息产业部电子第48研究所长沙 410111 |
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| 基金项目： | 国家"863”基金资助项目(863-715-Z34-01) |
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| 摘 要： | 高精度、高稳定性、高降温速率的热场,是液相外延设备研制中的关键技术之一。介绍了热场的结构设计、炉温的控制及调试结果。
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| 关 键 词： | 热场 液相外延系统 |
| 文章编号： | 1003-8213(2000)03-0070-05 |
| 修稿时间： | 2000年1月6日 |
Realization of Precise Thermal |
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| YUAN Zhang qi,LUO Wei guo,PU Yong.Realization of Precise Thermal[J].Microfabrication Technology,2000(3):70-74. |
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| Authors: | YUAN Zhang qi LUO Wei guo PU Yong |
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| Affiliation: | Forty Eighth Electronics Institute of MII Changsha 410111 China |
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| Abstract: | One of the key technologies in developing LPESystem is the vealization of the pricise thermal field with high precision, high stability and high decreasing rate of temperature. The constsruction design of thermal field, control of furnace temperature and it's adjustment results are described. |
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| Keywords: | Thermal field Temperature decreasing rate Temperature decreasing plateau Serial Control PID adjustment |
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