金属薄膜光刻精度的提高

本文分析了金属薄膜反射率高对光刻精度的影响,提出用化学处理、氧化、氮化处理和沉积抗反射层等方法来降低金属薄膜的反射率,以提高金属薄膜的光刻精度。