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| 分子束源的发展概况 | |
| 引用本文： | 于自强.分子束源的发展概况[J].微细加工技术,1986(3). |
| 作者姓名： | 于自强 |
| 作者单位： | 长沙半导体工艺设备研究所 |
| 摘 要： | 本文纵观了近几年来分子束外延设备中的分子束源的发展概况。对近期出现的新型结构的喷射炉及其安置、使用方法;电子束蒸发及离子源在分子束外延中的应用;气体源分子束外延等作了介绍。 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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