| LSIC凸多边形版图场分割数据处理的一种方法 |
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| 引用本文： | 胡咏梅,陈振生.LSIC凸多边形版图场分割数据处理的一种方法[J].微细加工技术,1998(3):7-14. |
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| 作者姓名： | 胡咏梅 陈振生 |
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| 作者单位： | 山东工业大学自动化工程系!济南250061 |
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| 摘 要： | 本文介绍了一种凸多边形版图场分割数据处理的方法，详细分析了凸多边形场分处理的算法。
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| 关 键 词： | 版图 图形场分割处理 LSIC 电子束曝光机 |
DATA PROCESSING OF FIELD DIVISION OF CONVEX POLYGON PATTERNS IN LSIC |
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| Hu Yongmei,Chen Zhensheng,Yao Zuobin,Wang Shaojun.DATA PROCESSING OF FIELD DIVISION OF CONVEX POLYGON PATTERNS IN LSIC[J].Microfabrication Technology,1998(3):7-14. |
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| Authors: | Hu Yongmei Chen Zhensheng Yao Zuobin Wang Shaojun |
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| Abstract: | The article introduces a method of the field division data processing of the convex polygon patterns . A algorithm of the field division data processing of the convex polygon is described in detail. |
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| Keywords: | Data processing Pattern field division processing Softwave for electron beam |
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