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| LSIC版图扫描场分割方式的研究 | |
| 引用本文： | 胡咏梅,胡毅,贾春娟,王绍钧.LSIC版图扫描场分割方式的研究[J].微细加工技术,1999(4):10-13. |
| 作者姓名： | 胡咏梅 胡毅 贾春娟 王绍钧 |
| 作者单位： | 山东工业大学自动化工程系!济南250061 |
| 摘 要： | 对版图扫描场分割方式进行了研究，详细论述了ｍ ×ｎ Ｓ形扫描场分割方式和任意扫描场分割方式。 |
| 关 键 词： | 图形分割 数据处理 电子束 |
Study on Scanning Field Division Methods for LSIC Patterns |
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| HU Yong mei,HU Yi,JIA Chun juan,WANG Shao jun.Study on Scanning Field Division Methods for LSIC Patterns[J].Microfabrication Technology,1999(4):10-13. | |
| Authors: | HU Yong mei HU Yi JIA Chun juan WANG Shao jun |
| Abstract: | |
| Keywords: | Pattern division Data processing Electron beam |
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