| 基于微机械工艺的平面微电机的研究 |
| |
| 引用本文： | 郭占社,吴一辉,张平,梁静秋.基于微机械工艺的平面微电机的研究[J].微细加工技术,2003(2):64-68,75. |
| |
| 作者姓名： | 郭占社 吴一辉 张平 梁静秋 |
| |
| 作者单位： | 中国科学院长春光机所应用光学国家重点实验室，长春130022 |
| |
| 摘 要： | 为提高微电机的输出力矩，增加微电机散热能力和电流密度，提高电机工作效率，设计了一种具有双转子结构的平面微电机。两个转子对称分布于定子两侧。转子采用永磁体进行轴向充磁。定子为平面线圈，是采用硅微机械加工技术和LIGA工艺制作的。线圈之间则采用了三相星形连接方式，线圈结构为平面型、无槽、集中绕组。把制作好的定子和转子装配后通以三相方波电流进行驱动，通过对其输出力矩和转速的测试证明电机运转良好。
|
| 关 键 词： | 平面微电机 转子 定子 微机械工艺 LIGA |
| 文章编号： | 1003-8213(2003)02-0064-05 |
Study on MEMS зased Planar Micromotor |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | planar micromotor stator rotor LIGA technology |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
