| 一种基于薄膜体声波谐振器的高灵敏度质量传感器 |
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| 引用本文： | 马绍宇,韩雁,董树荣,李侃,周海峰.一种基于薄膜体声波谐振器的高灵敏度质量传感器[J].微细加工技术,2007(6):40-44. |
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| 作者姓名： | 马绍宇 韩雁 董树荣 李侃 周海峰 |
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| 作者单位： | 浙江大学微电子与光电子研究所,杭州,310027 |
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| 摘 要： | 介绍了一种针对于生物传感应用的薄膜体声波谐振(thin film bulk acoustic resonator,FBAR)质量传感器.薄膜体声波谐振器谐振频率非常高(能够达到几兆赫兹),同时具有较大的品质因数,基于这种器件的质量传感器具有非常高的质量灵敏度.首次提出了三对全金属的A1-W层作为布拉格声学反射层的FBAR,制备出了固态装配型的FBAR传感器.通过淀积不同厚度Al层顶电极分析了器件的质量灵敏度,仿真得到的质量传感器串联谐振频率在2.8 GHz附近,质量响应度达到5×10-4 ng/Hz//cm2,可以实现分子量级的质量传感.
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| 关 键 词： | 质量传感器 薄膜体声波谐振器 灵敏度 固态装配型谐振器 |
| 文章编号： | 1003-8213(2007)06-0040-05 |
| 修稿时间： | 2007年7月1日 |
A Mass Sensor with High Sensitivity Based on Thin Film Bulk Acoustic Resonators |
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| MA Shao-yu,HAN Yan,DONG Shu-rong,LI Kan,ZHOU Hai-feng.A Mass Sensor with High Sensitivity Based on Thin Film Bulk Acoustic Resonators[J].Microfabrication Technology,2007(6):40-44. |
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| Authors: | MA Shao-yu HAN Yan DONG Shu-rong LI Kan ZHOU Hai-feng |
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