| 掺Al对ZnO薄膜结构和光电性能的影响 |
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| 引用本文： | 徐自强,邓宏,谢娟,李燕.掺Al对ZnO薄膜结构和光电性能的影响[J].液晶与显示,2005,20(6):503-507. |
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| 作者姓名： | 徐自强 邓宏 谢娟 李燕 |
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| 作者单位： | 电子科技大学,微电子与固体电子学院,四川,成都,610054 |
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| 基金项目： | 国家“973”基金资助项目(No.51310Z09-4)，国家自然科学基金重大项目(No.60390073) |
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| 摘 要： | 采用溶胶-凝胶工艺在普通玻璃片上制备了ZnO∶Al薄膜。通过XRD、UV透射谱和电学测试等分析方法研究了掺Al对薄膜的组织结构和光电性能的影响。分析表明:所制备的薄膜具有c轴择优取向,随着掺Al浓度的增加,(002)峰向低角度移动,峰强逐渐减弱。薄膜电阻率随掺Al浓度变化,当掺Al浓度为1.5%(摩尔分数),薄膜电阻率降至6.2×10-4Ω·cm。掺Al量的增加同时使得薄膜的禁带宽度变大,光吸收边出现蓝移现象。
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| 关 键 词： | ZnO薄膜 溶胶-凝胶法 Al掺杂 光学特性 电学特性 |
| 文章编号： | 1007-2780(2005)06-0503-05 |
| 修稿时间： | 2005年4月13日 |
Al-doping Effects on Structure, Optical and Electrical Properties of c-axis Orientated ZnO∶Al Thin Films |
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| XU Zi-qiang,DENG Hong,XIE Juan,LI Yan.Al-doping Effects on Structure, Optical and Electrical Properties of c-axis Orientated ZnO∶Al Thin Films[J].Chinese Journal of Liquid Crystals and Displays,2005,20(6):503-507. |
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| Authors: | XU Zi-qiang DENG Hong XIE Juan LI Yan |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | ZnO sol-gel Al-doped thin films optical properties electrical properties |
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