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OTS修饰的不同厚度酞菁铜OTFT的研究
引用本文:刘向,刘惠,薛钰芝.OTS修饰的不同厚度酞菁铜OTFT的研究[J].液晶与显示,2009,24(1).
作者姓名:刘向  刘惠  薛钰芝
作者单位:1. 大连交通大学,材料学院,辽宁,大连,116028
2. 大连理工大学,电信学院,辽宁,大连,116024
基金项目:大连交通大学博士启动基金 
摘    要:用十八烷基三氯硅烷(OTS)修饰了不同厚度的酞菁铜(CuPc)有机薄膜晶体管器件, 对比酞菁铜厚度为15、40、80 nm的3种器件性能后,得到40 nm的酞菁铜器件具有最高载流子迁移率.分析了OTS修饰的绝缘层表面对器件性能的影响,得到的40 nm厚度酞菁铜器件载流子迁移率为4.3×10-3cm2/V*s, 阈值电压为-9.5 V.

关 键 词:酞菁铜  半导体厚度  载流子迁移率

Organic Thin Film Transistors Modified by OTS with Different Thicknesses of CuPc
LIU Xiang,LIU Hui,XUE Yu-zhi.Organic Thin Film Transistors Modified by OTS with Different Thicknesses of CuPc[J].Chinese Journal of Liquid Crystals and Displays,2009,24(1).
Authors:LIU Xiang  LIU Hui  XUE Yu-zhi
Abstract:
Keywords:
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