| 薄膜厚度对ZnO∶Al透明导电膜性能的影响 |
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| 引用本文： | 郝晓涛,马瑾,马洪磊,杨莺歌,王卿璞,黄树来.薄膜厚度对ZnO∶Al透明导电膜性能的影响[J].液晶与显示,2002,17(3). |
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| 作者姓名： | 郝晓涛 马瑾 马洪磊 杨莺歌 王卿璞 黄树来 |
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| 作者单位： | 山东大学,物理与微电子学院,山东,济南,250100 |
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| 摘 要： | 铝掺杂的氧化锌(ZnO∶Al)透明导电膜是采用射频磁控溅射法在有机衬底(Polypro-pylene adipate, PPA)和Corning 7059玻璃上制备的.详细研究了薄膜的结构性质、光学和电学性质随薄膜厚度的变化关系.制备的ZnO∶Al薄膜具有(002)面的单一择优取向的多晶六角纤锌矿结构,性能优良的薄膜电阻率在两种衬底上分别为2.55×10-3Ω·cm和1.89×10-3Ω·cm,平均透射率达到了80%和85%.
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| 关 键 词： | ZnO∶Al透明导电膜 薄膜厚度 柔性衬底 |
Thickness Dependence of Properties for ZnO∶Al Transparent Conducting Films |
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